بررسی خواص الکتریکی لایه نازک نیکل ایجاد شده به روش MOCVD
نام عام مواد
[پایاننامه]
نام نخستين پديدآور
/زهرا مصطفوی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: مهندسی مواد
تاریخ نشرو بخش و غیره
۱۳۹۲
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۰۹ ص
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
کتابنامه در آخر پایان نامه
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
مهندسی مواد
کسي که مدرک را اعطا کرده
صنعتی سهند
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
لایههای نازک نیکل به دلیل مقاومت الکتریکی پایین و مقاومت به اکسیداسیون بالا در صنایع الکترونیک و نیمهرساناها و ذخیرهسازی دادهها و به طور وسیعی در پوششهای مقاوم به خوردگی مورد استفاده قرار میگیرند .پوششهای نیکل معمولا با فرآیند الکتروشیمیایی لایهنشانی میشوند، ولی اعمال پوشش نیکلی با روش MOCVD به دلیل انجام لایهنشانی در دماهای پایین، سرعت لایهنشانی بالا و امکان ایجاد پوششهای یکنواخت با چسبندگی بالا، عدم نیاز به خلاء بالا و تجهیزات پیشرفته و پایین بودن قیمت تولیدی، مورد توجه قرار گرفته است .هدف از انجام این پروژه، بررسی خواص الکتریکی لایه نازک نیکل ایجاد شده به روش MOCVD است .در این پژوهش، ابتدا راکتور MOCVD در فشار اتمسفری با قابلیت کار در دماهای محیط تا دمای ۵۰۰ درجه طراحی و ساخته شد .لایه نازک نیکل با استفاده از پیش ماده استیل استون نیکل بر روی زیرلایههای پلیکریستال مس و تک کریستال سیلیسیم (۱۱۱) با سرعت جریان نیتروژن و اکسیژن، Lit/min۱ وml/min ۳۳۰-۳۵۰در دماهای ۲۶۰،۳۰۰ ، ۳۲۰ و ۳۵۰ درجه به مدت min ۳۰-۴۰ لایهنشانی شد .مورفولوژی سطحی و ضخامت و ترکیب شیمیایی، ساختار و مقاومت الکتریکی ویژه لایه نازک نیکل، به ترتیب توسط میکروسکوپ الکترونی-روبشی، تفرق اشعه x و دستگاه چهارنقطهای جهت اندازهگیری مقاومت ویژه بررسی و انجام شد .مورفولوژی سطحی لایه نازک نیکل بر روی زیرلایههای مسی و سیلیسیمی متفاوت است .نتایج حاصل نشان داد که ضخامت لایه نازک نیکل ./۵-۱/۵um, ۲-۴um به ترتیب بر روی زیرلایههای مسی و سیلیسیمی بهدست آمد. مقدار مقاومت الکتریکی ویژه لایه نازک نیکل بر روی زیرلایه سیلیسیمی۲۹/۷*۱۰-۴,۱۲۱/۸*۱۰-۴،۲/۸*۱۰-۴ به ترتیب در دماهای لایهنشانی۳۰۰، ۳۲۰و ۳۵۰ درجه بدست آمد
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
مقاومت الکتریکی ویژه
موضوع مستند نشده
استیل استون نیکل
موضوع مستند نشده
فرآیند MOCVD
موضوع مستند نشده
لایه نازک نیکل
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )