@BOOK{ Book!D - 95685470,
AUTHOR = "معتمد اکتسا‌بی‌ ، علی‌",
TITLE = "روش‌ ها‌ی نوین‌ در تکنولوژی سا‌خت‌ لایه‌ ها‌: مقدمه‌ ای بر تکنیک‌ ها‌ی خلا، پراکنش‌ ، پلاسما‌ و کا‌ربردها‌ی آن‌ ، چشمه‌ ها‌ و چرتئها‌ی یونی‌",
LIBRARY= "کتابخانه مرکزي و مرکز اسناد دانشگاه سمنان",
SUBJECT = "لایه‌ ها‌ی نا‌زک‌,انرژی اتمی‌",
URL = "/book/95685470/روش-های-نوین-در-تکنولوژی-ساخت-لایه-ها-مقدم/"}