TY - BOOK A1 - معتمد الکتسا‌بی‌، علی‌ TI - روشها‌ی نوین‌ در تکنولوژی سا‌خت‌ لایه‌ها‌ (مقدمه‌ ای بر تکنیک‌ ها‌ی خلائ پراکنش‌ ...) PB - کتابخانه مرکزی دانشگاه صنعتی شاهرود SN - 94472270 UR /book/94472270/روشهای-نوین-در-تکنولوژی-ساخت-لایهها-مقدمه/ ER -