TY - BOOK A1 - / Kostya (Ken) Ostrikov and Shuyan Xu TI - Plasma-aided nanofabrication PB - کتابخانه مرکزی، مرکز اسناد و تامین منابع علمی دانشگاه صنعتی سهند SN - 93604495 UR /book/93604495/Plasmaaided-nanofabrication/ ER -