@BOOK{ Book!D - 92068081, AUTHOR = "تالیف علی معتمد اکتسابی", TITLE = "روش های نوین در تکنولوژی ساخت لایه ها: مقدمه ای بر تکنیک های خلا، پراکنش ، پلاسما و کاربردهای آن ، چشمه ها و چرتئهای یونی", LIBRARY= "کتابخانه مرکزی دانشگاه صنعتی امیرکبیر", SUBJECT = " لایه های نازک , انرژی اتمی ", URL = "/book/92068081/روش-های-نوین-در-تکنولوژی-ساخت-لایه-ها-مقدمه-ای-بر/"}